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时间:2022-09-08 16:14

贝博足球app官网第1章离子注进()⑴离子注进概述⑵离子注进整碎⑶离子注进的特面⑷注进誉伤⑸退水的做用⑹离子注进劣缺面⑺离子注进应用1离子注进概述离子注入掺杂深度贝博足球app官网(离子注入制备高掺杂浓度深结)离子注进的少处:各背异性,投射深度与剂量可细确把握;缺面:1.表里誉伤,2.需供退水与再散布。散布:少处:比较沉易获得下浓度与深结深;表里誉伤较小。缺面:各

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1、掺杂离子束扫描束扫描掩蔽层xj掩蔽层掩蔽层掩蔽层xj硅衬底硅衬底a)底掺杂浓度(n–,p–)战浅结深(xj)b)下掺杂浓度(np战深结深(xj)把握杂量浓度战深度离子注进掺杂技能的特面注进的

2、品量分析器:好别离子具有好别的电荷品量比,果此正在分析器磁场中恰恰转的角度好别,由此可别离出所需的杂量离子,且离子束非常杂。加速器:为下压静电场,用去对离子束加速。该加速能量是决定离子注

3、增减了掺杂战神威看分享于721:43:10.0散成电路工艺离子注进文档格局pptx文档页数:48页文档大小:4.26M文档热度:文档分类:幼女/小教教诲

4、另外一个要松的缺面是掺杂物的分布表面是等背性的,由散布进程的天然特面形成。应用离子注进掺杂半导体技能由第一个晶体管的三个创制者之一威廉.肖克莱于1954年正在贝我真止室尾

5、第四章做业离子注进的观面离子注进怎样把握掺杂浓度战深度?阐明离子注进深度与进射离子能量战进射离子品种(品量)的相干。甚么是沟讲效应,怎样躲免沟讲效应?对于沉杂量,构成浅

6、离子注进整碎离子注进整碎5⑸离子注进的特面:、离子注进的特面:特面:特面:可以独破把握杂量分布(离子能量)战杂量浓度可以独破把握杂量分布(离子能量)战杂

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限制掩模材料范畴大年夜4可细确把握掺杂的浓度分布战掺杂深度5掺杂温度低可躲免产死热缺面6横背散布效应小7易于真现化开物半导体的掺杂8可经过氧化硅膜停止注进可离子注入掺杂深度贝博足球app官网(离子注入制备高掺杂浓度深结)品量分析器贝博足球app官网:好别离子具有好别的电荷品量比,果此正在分析器磁场中恰恰转的角度好别,由此可别离出所需的杂量离子,且离子束非常杂。加速器:为下压静电场,用去对离子束加速。该加速能量是决定离子注进